背 景

濕電子化學(xué)品中的異丙醇(IPA)是一種在泛半導(dǎo)體行業(yè)中使用量最大的一種有機(jī)溶劑，用于清洗、光刻、顯影、蝕刻、摻雜等工藝環(huán)節(jié)，尤其在清洗環(huán)節(jié)。

工藝流程

產(chǎn)品檢測結(jié)果

結(jié) 論

通過膜工藝，異丙醇國際標(biāo)準(zhǔn)要求的34種金屬離子，29種達(dá)到了G5等級;5種達(dá)到了G4等級;通過技術(shù)迭代，預(yù)計(jì)34種金屬離子可全部達(dá)到G5等級。