背 景

電子級甲醇作為半導(dǎo)體和電子元件制造中的關(guān)鍵原材料，它可用于電子元器件微細(xì)加工的清洗、光刻、顯影、蝕刻、摻雜等工藝環(huán)節(jié)，尤其在清洗環(huán)節(jié)。

工藝流程

產(chǎn)品檢測結(jié)果

結(jié) 論

國際標(biāo)準(zhǔn)中要求的金屬離子中，90%的金屬離子可達(dá)到G5級別，其它可達(dá)G4級別。非金屬B的采用膜反應(yīng)器可達(dá)到G4級別。