近日，工業(yè)和信息化部辦公廳公示2025年精細化工關(guān)鍵產(chǎn)品創(chuàng)新任務(wù)揭榜掛帥入圍單位，江蘇久膜高科技股份有限公司聯(lián)合國家高性能膜材料創(chuàng)新中心、南京工業(yè)大學(xué)、江蘇雅克科技股份有限公司成功揭榜了“超凈高純試劑生產(chǎn)用關(guān)鍵純化設(shè)備、分離材料”攻關(guān)項目。

      半導(dǎo)體超凈高純試劑是芯片制造光刻、蝕刻、清洗等核心工藝的“血液”，其金屬離子、顆粒物純度直接決定芯片良率與最終性能。長期以來，超凈高純試劑生成用的材料、工藝和成套裝備被美、德、日等國企業(yè)壟斷，技術(shù)壁壘高，國內(nèi)產(chǎn)業(yè)深陷“卡脖子”困局，G4及以上的高端超凈高純試劑純化能力嚴重不足，成為制約我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展的關(guān)鍵瓶頸。

      針對這一難題，本攻關(guān)項目聚焦半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中有機類超凈高純試劑（比如醇類、酮類、酯類等）的高端需求，以氟化改性膜材料為核心，通過分子設(shè)計、界面改性與微結(jié)構(gòu)調(diào)控，成功開發(fā)出在全有機溶劑環(huán)境下，可截留微納米顆粒、去除ppt痕量級金屬離子高性能特種膜材料（去金屬離子膜），同時攻克了膜材料的全溶劑耐受性與長期服役穩(wěn)定性難題，創(chuàng)新設(shè)計并制備出高通量折疊型滲透汽化膜組件；首創(chuàng)基于去金屬離子膜多級膜耦合純化新路徑，彎道避開國外純化路線，可高效截留30余種金屬離子，單級膜金屬離子的去除率＞99.95%；純化后產(chǎn)品（比如甲醇、乙醇、異丙醇、丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯、乳酸乙酯等）達到SEMI G5等級。

      本攻關(guān)項目前期在超純試劑純化方向已經(jīng)布局相關(guān)專利27件，其中獲得授權(quán)專利16件（1件美國專利，8件發(fā)明專利，7件實用新型專利），覆蓋膜材料、膜組件、純化工藝及裝置等全流程。項目整體形成了從基礎(chǔ)研究（南工大） → 核心技術(shù)產(chǎn)品開發(fā)與生產(chǎn)（久膜高科） → 工藝裝備實現(xiàn)（國家創(chuàng)新中心） → 終端應(yīng)用驗證與推廣（雅克科技等） 的完整閉環(huán)。

      本項目的意義在于通過“材料-工藝-裝備”三位一體系統(tǒng)研發(fā)，構(gòu)建起自主可控的“超高純有機化學(xué)品多級膜耦合純化技術(shù)”，避開了國外技術(shù)路徑壁壘和專利保護，為全球電子材料行業(yè)提供低成本、綠色化的高純度有機溶劑解決方案，適配國際先進制程標準；其次形成超高純有機化學(xué)品純化技術(shù)的“中國解決方案”，提升我國在電子材料領(lǐng)域的技術(shù)話語權(quán)，保障超高純有機化學(xué)品供應(yīng)鏈安全，助力實現(xiàn)科技自立自強！